高真空ポンプ油 製品選定ガイド

ポンプのタイプ 環境 用途 商品名
ロータリーポンプ 一般用 標準品 ネオバックMR-100 MR-200 MR-250
一般用(水分吸引無し) スラッジ分散性・耐熱性向上品 ネオバックST-200
一般用(水分吸引有り) 耐熱・酸化安定性向上品 ネオバックMR-200A 250A
高温化・活性ガス吸引 標準品 ネオバックSO-M SO-H
高温化・活性ガス吸引 耐熱・耐酸化性向上品 ネオバックSA-L SA-M SA-H
微粉末あるいは活性ガス吸引 減圧CVD用 ネオバックDR-M
大気汚染ガス吸引 環境測定器用 ネオバックSA
拡散ポンプ油 到達圧力
7X10-6Pa以下 ネオバックSX
1X10-6Pa以下 ネオバックSY
7X10-9Pa以下 モレスコエクセロール54
ブースター/エゼクターポンプ 蒸気圧
1.3X10-2Pa以下 ネオバックME-250
6.7X10-4Pa以下  ネオバックDB-12
メカニカルブースターポンプ ネオバックEP-83
センターバルブ 粘度40℃
156.6mm2/S ネオバックMC-400
256.2mm2/S ネオバックMC-600
411mm2/S  ネオバックMC-1000