評価事例

ガス・水蒸気
透過度測定装置
評価事例

シングルチャンバータイプ評価事例
マルチチャンバータイプ評価事例

1. MA法による測定時間の短縮
2. 高感度水蒸気透過度測定
3. 高感度ガス透過度測定

評価事例①MA法による測定時間の短縮

試　　料：有機デバイス基板用フィルム
（基　　材）　　PET 100 μm
（バリア層）　　有機/無機複数積層
（片面バリア層）
試験条件：40℃90%RH
前処理条件
（MA法）　なし
（差圧法）　80℃真空排気（12時間）
＋40℃に設定し安定するまで待機（6時間）

従来の差圧法では5日を要した測定において、MA法では1日で評価が可能でした。(従来比で約1/5の測定時間）

評価事例②高感度水蒸気透過度測定

試　　料：フレキシブルOLED基板用フィルム
（基　　材）　　PEN 125 μm
（バリア層）　　有機/無機複数積層
（片面バリア層）
試験条件：40℃90%RH
測定手法：MA法
前処理条件：40℃真空排気（24時間）

MA法による測定で、10^-6g/m²/dayレベルの極めて高いバリア性をもつフィルムでも3日程度で評価できました。

評価事例③高感度ガス透過度測定

試　　料：太陽電池フロントシート用フィルム
（基　　材）　　PET 60 μm
（バリア層）　　有機/無機複数積層
（WVTR10^-3レベル）
試験条件：40℃、O₂ 1atm供給
測定手法：差圧法
前処理条件：80℃真空排気（12時間）
+40℃に設定し安定するまで待機（6時間）

様々なガスの透過度を一台の装置で測定できます。（水蒸気、酸素、窒素、ヘリウム、二酸化炭素など）評価事例では酸素透過度を測定しており、酸素供給後約10時間で評価できました。
水蒸気の代替として、ヘリウムなど他のガスを活用することでバリアフィルムの品質管理にかかる時間を大幅に短縮することが期待できます。