国立研究開発法人 産業技術総合研究所と共同で開発したフィルムのガス・水蒸気透過度を測定する新しい手法です（特許第7041665号）。
測定試料と検出器の間に設けた「支持体層」が、測定時の差圧による試料へのダメージを低減し、さらに測定時間の短縮に寄与します。

本測定手法は半導体業界の国際工業規格であるSEMI規格に準拠しております。
SEMI D80 - Test Method for Measurement of Water Vapor Transmission Rate for High Gas Barrier Plastic Film in a Short Time -

国立研究開発法人　産業技術総合研究所　プレスリリース
測定に必要な時間を短縮する新たなガス・水蒸気透過率測定装置を開発

検出器に、四重極質量分析計（QMS）を採用しており、水蒸気透過度換算で10^-7g/m²/dayレベルに相当する微量な水分の検出が可能です。また水蒸気以外にも様々なガスの定量が可能です。

国立研究開発法人産業技術総合研究所が開発した標準コンダクタンスエレメント（SCE）を用いることで、QMSを国家標準にトレーサブルに校正することができます。
標準コンダクタンスエレメントとは気体の流れやすさ（コンダクタンス）が校正されたエレメントです。
国際規格ISO/TS 20175：2018において、典型的なQMSの"その場"校正法の一つとして、本技術は採用されています。

従来の測定
割れあり

専用治具での測定
割れなし

専用の治具により、小さいサイズ（最小 約20mm角）から大きいサイズ（最大 約115mm角）までのサンプルに対応可能です。これまで測定が困難であった小さいサンプル、脆い・割れやすいサンプルでも破損することなく測定ができます。