ガス・水蒸気透過度測定装置
受託分析

ガス・水蒸気透過度測定装置受託分析:装置詳細

装置詳細

MA法による測定の迅速化

MA法は、水蒸気やガスのQMSにつながる空間と測定試料の間に支持体の層を設けたところに特徴があります。

支持体はQMS側空間へのガスの流入を遅延させる効果があるため、試料交換時の検出器側空間の汚染を防ぐことができます。その結果、QMS側の空間は常に高い真空度が維持され、前処理の時間を短縮、或いは省略することができます。

試料室を約90秒間大気開放したのち、約24時間測定しました。大気成分である水、窒素、酸素は検出されなかったことから、QMS側空間はクリーンな環境が維持されている事がわかります。

104g/m2/dayレベルの水蒸気透過度をもつバリアフィルムの測定において、測定時間を従来比で1/5になった例もあります。

試料ダメージの低減

右図は測定後の試料写真です。
支持体が緩衝となるため、従来の差圧法の課題であった
測定時の試料へのダメージも低減できます。
支持体を用いた測定法により、薄くて脆い試料や割れやすい試料、
取り扱いが困難な試料でも、精度良く測定可能です。

SIトレーサブルを実現

QMSは様々なガスを高感度に定量できる検出器ですが、ガス種によって感度が大きく異なります。また、使用履歴や環境によって、感度が変化することもあり、定期的な校正が必要です。

当装置は、SIトレーサブルな標準コンダクタンスエレメント(SCE)を使用した校正機構を内蔵しているため、簡単に校正が可能です。
校正時は右図のようにSCEを通して、校正ガス(ユーザ任意のガス、または水蒸気)を検出器に導入します。供給側の圧力変化に対する、QMSの出力をプロットすることで、検量線を取得できます。

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